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GL8 CLIV Gen2高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

納米壓印光刻設(shè)備

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青島天仁微納科技有限責(zé)任公司成立于2015年，是引新的納米壓印設(shè)備和解決方案提供商。公司的核心競爭力是為客戶提供納米壓印整體解決方案。產(chǎn)品與服務(wù)涵蓋納米壓印相關(guān)的設(shè)備、模具、材料、工藝以及生產(chǎn)咨詢服務(wù)。我們致力于拓展納米壓印技術(shù)在創(chuàng)新產(chǎn)品領(lǐng)域的應(yīng)用，例如發(fā)光二極管（LEDs）、微納機(jī)電系統(tǒng)（MEMs/NEMs）、虛擬現(xiàn)實(shí)和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)光波導(dǎo)（AR Waveguides）、3D傳感、生物芯片、顯示以及太陽能等。

微納加工設(shè)備，配套材料，配套產(chǎn)品，相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)咨詢服務(wù)

GL8 CLIV Gen2高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備是天仁微納新型全幅高精度紫外納米壓印設(shè)備，標(biāo)配天仁微納CLIV（Contact Litho in Vacuum）壓印技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)200mm基底面積上高精度（優(yōu)于10nm ）、高深寬比（優(yōu)于10比1 ）納米結(jié)構(gòu)復(fù)制量產(chǎn)。

GL8 CLIV Gen2 & GL12 CLIV Gen2 2inch/100/150/200mm  & 2inch/100/150/200/300mm是天仁微納新型全幅高精度紫外納米壓印設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)200/300mm基底面積上高精度（優(yōu)于10nm ）、高深寬比（優(yōu)于10比1 ）納米結(jié)構(gòu)復(fù)制量產(chǎn)。
該設(shè)備支持自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具，工作模具具有精度高，壽命長等特點(diǎn)，可以顯著降低大面積納米壓印工藝中模具使用成本。保證了大面積納米壓印過程中結(jié)構(gòu)精度與高深寬比結(jié)構(gòu)的完整填充，同時(shí)保證了大面積結(jié)構(gòu)壓印均勻性。
GL8/12 CLIV納米壓印設(shè)備適用于DOE、AR/VR衍射光波導(dǎo)（包括斜齒光柵）、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應(yīng)用領(lǐng)域的量產(chǎn)。

GL8 CLIV Gen2高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備主要功能

● 經(jīng)過量產(chǎn)驗(yàn)證的200mm大面積、高精度、高深寬比納米壓印

● CLIV技術(shù)，確保壓印結(jié)構(gòu)精度與結(jié)構(gòu)填充完整性

● 設(shè)備內(nèi)自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具，降低大面積納米壓印模具使用成本

● 自動(dòng)對位、自動(dòng)壓印、自動(dòng)曝光固化、自動(dòng)脫模，工藝過程無需人工干預(yù)

● 標(biāo)配高功率紫外LED面光源（365nm，光強(qiáng)>1000mW/cm2 ），水冷冷卻，特殊功率以及特殊、混合波長光源可訂制，支持各種商用納米壓印材料

● 標(biāo)配設(shè)備內(nèi)部潔凈環(huán)境與除靜電裝置

● 隨機(jī)提供全套納米壓印工藝與材料，包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)等工藝流程，幫助客戶零門檻達(dá)到高質(zhì)量的納米壓印水平


相關(guān)參數(shù)

兼容基底尺寸2inch、100mm、150mm、200mm
特殊尺寸可定制
支持基底材料硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等
上下片方式手動(dòng)上下片
晶圓預(yù)對位機(jī)械夾持預(yù)對位，可選裝光學(xué)巡邊預(yù)對位
納米壓印技術(shù)CLIV技術(shù)，適合高精度、高深寬比納米結(jié)構(gòu)壓印
壓印精度優(yōu)于10納米*
結(jié)構(gòu)深寬比優(yōu)于10比1*
殘余層控制可小于10nm*
紫外固化光源紫外LED（365nm）面光源，光強(qiáng)>1000mW/cm2，水冷冷卻（2000mW/cm2類型光源可選配）
設(shè)備內(nèi)部環(huán)境控制標(biāo)配，外部環(huán)境class 100，內(nèi)部環(huán)境優(yōu)于Class 10*
自動(dòng)壓印支持
自動(dòng)脫模支持
自動(dòng)工作模具復(fù)制支持
模具基底對位功能自動(dòng)對位（選配）




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